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蝕刻最小開(kāi)孔跟材料厚度相關(guān)。目前能蝕刻的最小開(kāi)孔是0.1mm的，但材料的厚度必須是0.03-0.05mm?？组g距以0.1mm厚的不銹鋼為例，可以做的0.2mm的孔間距。深度精度最高達(dá)到+/-0.02mm。相應(yīng)的：材料越高，開(kāi)孔需相應(yīng)增大，孔間距也相應(yīng)增寬。
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